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Thèse en ligne

JUNKANG WANG - Admis au titre de docteur

Doctorat Physique


Thèse soutenue le 10 octobre 2017 - Institut Polytechnique de Paris École polytechnique

Ecole doctorale : Interfaces : matériaux, systèmes, usages

Sujet : Nouveaux concepts dans le dépôt de couches minces de silicium par PECVD: de la chimie du plasma aux applications de dispositifs photovoltaïques

Mots-clés de la thèse : silicium couches minces,photovoltaïque,Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma,résonance cyclotron électronique,tailored voltage waveforms,énergie des ions,

Direction de thèse : ERIK JOHNSON

Unité de recherche : LPICM - Laboratoire des Interfaces et des Couches Minces UMR 7647 - Palaiseau
Dernière mise à jour le 22 septembre 2017